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用于测量量块尺寸的激光干涉测量方法研究
量块支撑与安装方式对坐标测量机尺寸测量示值误差的影响已经越来越引起重视,尤其对于线性测量精度为0.6 μm 1000/L以上的计量型坐......
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计量学
激光干涉
量块
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